[发明专利]门阀组件及真空镀膜设备

说明书

本发明涉及真空镀膜设备密封隔离装置技术领域，尤其涉及一种门阀组件及真空镀膜设备。门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构，驱动机构和导向机构分别设置在底座和阀体之间，导向机构包括至少两个，驱动机构设置在至少两个导向机构之间，驱动机构用于驱动阀体升降；导向机构用于在阀体升降时为阀体导向、并用于为阀体和驱动机构承担横向冲击。基于该门阀组件提出了一种真空镀膜设备。该门阀组件使得阀体在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成阀体和驱动机构的破坏，从而有效延长阀体的使用寿命，进而延长装有该门阀组件的真空镀膜设备的使用寿命。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备密封隔离装置技术领域，尤其涉及一种门阀组件及真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜设备通常包括多个不同功能的腔室。在真空腔室进行镀膜工艺时，通过阀体使相邻两个腔室之间有效隔离。

现有的门阀结构如图1所示，阀体1的两端分别通过固定螺钉5’固定在门框体上，以使门阀1’处于开启常态。门阀1’闭合时，先通过2个气缸2’推动气缸2’顶部的浮动接头3’竖直升起，以使各个浮动接头3’同时顶在门阀1’的底部，然后松开门阀1’与门框连接的固定螺钉5’，则此时门阀1’的整个重量都压在浮动接头3’上，接着控制气缸2’下降，以使得门阀1’最终降落在固定支架4’上。

现有门阀的开启需要人为协助，以防止气缸2’升降过程中浮动接头3’由于摆动会顶不到门阀1’的正确位置，避免门阀1’在升降时出现摆动或移位产生故障。同时，气缸2’升降速度只能通过调整节流阀控制，气流大小不易控制，且断气情况下存在损伤门阀1’和伤害操作者的风险。气缸2’本身不能承受较大横向力，上述应用在设备内的门阀1’通常自身重量高达100多公斤，在气缸2’的下降过程中如果受到横向力影响，就会对气缸2’的寿命造成不良影响，甚至导致气缸2’遭受到破坏。

发明内容

(一)发明目的

本发明的目的是提供了一种门阀组件及真空镀膜设备，以使阀体在开闭时，避免因受到横向力影响而造成结构破坏，有效延长该结构的使用寿命。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种门阀组件。该门阀组件包括底座、阀体、驱动机构和导向机构。所述阀体通过升降实现开闭，该门阀组件的阀体在开闭时有效避免因受到横向力影响而造成结构破坏，有效延长该结构的使用寿命。

所述驱动机构和所述导向机构分别设置在所述底座和所述阀体之间。所述导向机构包括至少两个，所述驱动机构设置在所述至少两个导向机构之间，所述驱动机构用于驱动所述阀体升降，从而利用驱动机构控制阀体的开启和关闭。

所述导向机构用于在所述阀体升降时为所述阀体导向，以提高阀体升降的精确度。且由于驱动机构驱动阀体升降时，驱动机构一旦受到横向冲击将会影响阀体升降的稳定，为了提高阀体升降过程的稳定性，所述导向机构还被用于为所述阀体和驱动机构承担横向冲击。

优选的，每个所述导向机构均包括导杆和套筒柱。所述导杆与所述套筒柱相匹配。即是说每个套筒柱分别配设有对应的导杆，导杆与套筒柱的位置上下相对设置，从而使每个导杆和与其相对应的套筒柱共同构成一组导套结构。

在每组导套结构中，所述导杆的自由端套设在所述套筒柱内，在所述阀体升降时，所述导杆在套筒柱内随所述阀体的升降而伸缩，从而利用导杆沿套筒柱轴向的伸缩移动限定阀体的移动方向。

两个所述套筒柱分别固定在所述底座的两端，两个所述导杆的顶部分别固定在所述阀体的两端，以使所述驱动机构被保护在两组所述导向机构之间，从而使阀体和驱动机构免受横向冲击。

优选的，所述驱动机构包括至少两个升降器和同步驱动组件。所述至少两个升降器安装在所述底座和阀体之间，以利用并列的多个所述升降器同步升降，从而提高阀体升降过程的稳定性和结构强度。