[发明专利]载板传输控制方法及系统在审
| 申请号： | 201811565386.5 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN111352445A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 王广军 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D3/10 | 分类号： | G05D3/10;B65G43/00 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 周放;王立民 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种载板传输控制方法及系统，该方法包括：判断载板是否到达装载腔的第一通过口；如果是，则通过伺服系统直接控制所述载板以设定的第一速度前进设定的第一距离，以达到装载腔内的第一位置；在所述第一位置，所述伺服系统直接控制所述载板以设定的第二速度前进设定的第二距离，以达到设定的第二位置；其中，所述第一速度和所述第二速度均为匀速速度，所述第二速度小于所述第一速度；所述第一位置为装载腔内靠近上料腔的一侧；所述第二位置为装载腔内靠近工艺腔的一侧。本发明提供的载板传输控制方法及系统，利用伺服系统直接控制载板运行，与现有技术相比，取消了过多的传感器，在降低设备成本的同时，还提高了传输效率和传输精度。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
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