[发明专利]一种蓝宝石晶棒定向仪

摘要

本发明公开了一种蓝宝石晶棒定向仪，包括桌体，及安装于桌体上的第一工作台和第二工作台；所述第一工作台和第二工作台之间安装有双路X射线台；所述双路X射线台靠近第一工作台和第二工作台两面均安装有X射线高压发生装置；所述第一工作台和第二工作台包括台体；及安装于台体顶面的圆形导轨；所述圆形导轨中心处安装有晶棒夹具；所述晶棒夹具与安装于台体内侧的蜗轮蜗杆减速机构其蜗杆安装；所述蜗杆外部安装有固定筒；本发明的蓝宝石晶棒定向仪；采用自动调角和自动定向，保证调角定向精度，通过两个工作台，双侧工作台可以同时进行操作，可对晶片进行端面和参考边定向；可以测量蓝宝石晶体专有的晶向（A、C、M、R）。

主权项

1.一种蓝宝石晶棒定向仪，其特征在于：包括桌体，及安装于桌体上的第一工作台和第二工作台；所述第一工作台和第二工作台之间安装有双路X射线台；所述双路X射线台靠近第一工作台和第二工作台两面均安装有X射线高压发生装置；所述第一工作台和第二工作台包括台体；及安装于台体顶面的圆形导轨；所述圆形导轨中心处安装有晶棒夹具；所述晶棒夹具与安装于台体内侧的蜗轮蜗杆减速机构其蜗杆安装；所述蜗杆外部安装有固定筒；所述固定筒顶面设置有调角刻度盘；所述固定筒外部活动安装有外转盘；所述外转盘一侧部一体制成有法兰座；所述法兰座上旋接有调距标尺；所述调距标尺上通过燕尾螺栓活动安装有计数管；所述调距标尺底部固定有滑头；所述滑头活动嵌合到圆形导轨内侧；所述外转盘外部于台体内侧开设有高精度的齿环；所述齿环上啮合有调角齿盘；所述调角齿盘与调角电机安装；所述调角齿盘与测角仪其齿盘啮合；所述蜗轮蜗杆减速机构与步进电机安装；所述第一工作台顶面上还安装有滑柱；所述滑柱上安装有独立计数管；所述计数管通过调理电路和V/F转换电路电连接到PLC，所述PLC电连接的电机驱动器，及与电机驱动器电连接的步进电机和调角电机；所述蜗轮蜗杆减速机构其蜗杆同轴安装有旋转编码器；所述调理电路输出端还电连接有微安表头；所述PLC电连接有触摸屏。