[发明专利]一种连续镀膜生产线中基片框架偏压引入装置在审
| 申请号： | 201811537919.9 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN109355635A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种连续镀膜生产线中基片框架偏压引入装置，包括引入电极，所述引入电极外套接有绝缘套并穿过真空腔体壁伸入真空腔体内，引入电极与真空腔体壁之间密封连接，引入电极在大气侧通过电缆连接偏压电源，在真空腔体内靠近引入电极一侧的腔体挡板上设有孔洞，引入电极在真空腔体内一端连接有弹片，弹片连接有滑轮，弹片及滑轮穿过腔体挡板上的孔洞并可与基片框架过盈接触。本发明的偏压引入装置引入电极通过弹片和滑轮与基片框架过盈接触，弹片施加一定的力使滑轮完全与基片框架接触，滑轮与基片框架之间为面接触，同时不影响基片框架的往返运动，解决了偏压引入装置与基片框架接触不良和接触不到的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基片框架 引入电极 滑轮 引入装置 弹片 真空腔 连续镀膜生产线 孔洞 过盈接触 腔体挡板 真空腔体 体内 穿过 弹片连接 电缆连接 接触不良 密封连接 偏压电源 往返运动 一端连接 影响基片 绝缘套 面接触 伸入 施加 | ||
【主权项】：
1.一种连续镀膜生产线中基片框架偏压引入装置，包括引入电极，其特征在于：所述引入电极外套接有绝缘套并穿过真空腔体壁伸入真空腔体内，引入电极与真空腔体壁之间密封连接，引入电极在大气侧通过电缆连接偏压电源，在真空腔体内靠近引入电极一侧的腔体挡板上设有孔洞，引入电极在真空腔体内一端连接有弹片，弹片连接有滑轮，弹片及滑轮穿过腔体挡板上的孔洞并可与基片框架过盈接触。
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