[发明专利]一种TixSi1-xC/Ag复合导电涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201811524716.6 | 申请日： | 2018-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN109706430A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 苏晓磊;张朋;贾艳;刘毅 | 申请（专利权）人： | 西安工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 曾庆喜 |
| 地址： | 710048 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TixSi1‑xC/Ag复合导电涂层的制备方法，首先将铜基体依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中进行超声清洗，之后真空烘干，再将铜基体放入磁控溅射真空室内的样品台上，采用直流磁控溅射法沉积TixSi1‑xC/Ag复合导电涂层。将本发明方法制备的TixSi1‑xC/Ag复合导电涂层用于铜表面，通过整体合金化提高了Cu的硬度、抗氧化性和耐磨性；通过磁控溅射法在Cu基体制备TixSi1‑xC/Ag复合导电涂层的制备方法，工艺简单，效率高，经济环保，且涂层质更高。 | ||
| 搜索关键词： | 复合导电涂层 制备 磁控溅射法 铜基体 放入 耐磨性 采用直流 超声清洗 磁控溅射 抗氧化性 无水乙醇 真空烘干 整体合金 铜表面 丙酮 沉积 水中 离子 室内 环保 | ||
【主权项】：
1.一种TixSi1‑xC/Ag复合导电涂层的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：步骤1，将纯度为99.99％的铜基体依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中进行超声清洗，之后真空烘干；步骤2，将经步骤1处理的铜基体放入磁控溅射真空室内的样品台上，采用直流磁控溅射法沉积TixSi1‑xC/Ag复合导电涂层。
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