[发明专利]有机聚硅氧烷化合物和包含其的活性能量线固化性组合物有效
| 申请号： | 201811516062.2 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN109912798B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 藤本卓也;吉川裕司 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C08G77/26 | 分类号： | C08G77/26;G03F7/038 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供给予满足硬度和韧性这两者并且可碱显影的固化膜的有机聚硅氧烷以及含有该有机聚硅氧烷、能够用作负型抗蚀剂材料的活性能量线固化性组合物。有机聚硅氧烷化合物，其具有由下述式(I)和(II)表示的结构单元。 |
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| 搜索关键词： | 有机 聚硅氧烷 化合物 包含 活性 能量 固化 组合 | ||
【主权项】：
1.有机聚硅氧烷化合物，其特征在于，具有由下述式(I)和(II)表示的结构单元，【化1】![]()
式中，R1和R5相互独立地表示氢原子、甲基、乙基、正丙基或异丙基，R2、R3和R6相互独立地表示碳原子数1～10的2价的烃基，R4表示氢原子或甲基，n表示满足0≤n≤2的整数，m表示满足0≤m≤2的整数。
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