[发明专利]一种电子能量可控的电子枪有效
| 申请号： | 201811502099.X | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN109411314B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 屠幼萍;许多虎;谭天;秦司晨;陈冰莹;王璁;王景春 | 申请（专利权）人： | 华北电力大学 |
| 主分类号： | H01J29/48 | 分类号： | H01J29/48;H01J29/52;H01J29/54;H01J29/62;H01J29/86 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 102206 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种电子能量可控的电子枪，所述电子枪包括：绝缘支架、发射极、控制极以及聚焦极，发射极用于发出电子束，控制极用于控制电子束的电子能量，聚焦极用于控制电子束的束径。绝缘支架包括陶瓷圆板和环氧支柱，环氧支柱的顶端固定在陶瓷圆板的边缘处，发射极安装在陶瓷圆板上，控制极以及聚焦极分别固定在环氧支柱上，控制极位于发射极的下方，聚焦极位于所述控制极的下方，被测试样位于所述聚焦极的下方。控制极与聚焦极外接高压电源，高压电源用于向所述控制极施加负高压，以及向所述聚焦极施加正高压，使得控制极与聚焦极能够分别对电子束电子能量的大小和束径大小进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 能量 可控 电子枪 | ||
【主权项】：
1.一种电子能量可控的电子枪，其特征在于，包括：绝缘支架(1)、发射极(2)、控制极(3)以及聚焦极(4)，所述发射极(2)用于发出电子束，所述控制极(3)用于控制所述电子束的电子能量，所述聚焦极(4)用于控制所述电子束的束径；所述绝缘支架(1)包括陶瓷圆板(11)和环氧支柱(12)，所述环氧支柱(12)的顶端固定在所述陶瓷圆板(11)的边缘处，所述发射极(2)安装在所述陶瓷圆板(11)上，所述控制极(3)以及所述聚焦极(4)分别固定在所述环氧支柱(12)上，所述控制极(3)位于所述发射极(2)的下方，所述聚焦极(4)位于所述控制极(3)的下方，被测试样位于所述聚焦极(4)的下方；所述控制极(3)与所述聚焦极(4)外接高压电源，所述高压电源用于向所述控制极(3)施加负高压，使得所述控制极(3)与位于所述被测试样下方的接地极之间形成电场，所述电场用于控制所述电子束电子能量的大小，所述高压电源还用于向所述聚焦极(4)施加正高压，所述聚焦极通过所述正高压控制所述电子束的束径。
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