[发明专利]使用斜率数据的用于半导体衬底的检查方法及检查装置在审
| 申请号： | 201811497035.5 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109900717A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | R.穆尔;N.西德尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88;H01L21/66;G01B11/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 高苇娟;申屠伟进 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提供了使用斜率数据的用于半导体衬底的检查方法及检查装置。检查方法包括通过使用检查装置（300）记录来自半导体衬底（110）的主表面（111）的检查区域（120）中的测量点的第一数据（810），其中检查区域（120）旋绕主表面（111）的中心点（105）且其中第一数据（810）包括关于主表面（111）在测量点处沿第一方向的斜率的信息，第一方向偏离与包含测量点且使其中心在中心点（105）的圆相切的方向不超过±60°。数据处理装置（400）分析第一数据（810）以获得主表面（111）上的在其处第一数据（810）满足预定准则的地方的位置数据（830）。通过数据接口单元（490）输出位置数据（830）。 | ||
| 搜索关键词： | 第一数据 主表面 检查装置 测量点 衬底 半导体 检查区域 斜率数据 中心点 数据处理装置 数据接口单元 方向偏离 输出位置 位置数据 预定准则 检查 相切 旋绕 记录 分析 | ||
【主权项】：
1.一种用于半导体衬底的检查方法，所述方法包括：通过使用检查装置（300），记录来自半导体衬底（110）的主表面（111）的检查区域（120）中的测量点的第一数据（810），其中检查区域（120）旋绕主表面（111）的中心点（105），并且其中第一数据（810）包括关于主表面（111）在测量点处沿第一方向的斜率的信息，所述第一方向偏离与包含相应测量点并且使其中心在中心点（105）的圆相切的方向不超过±60°；通过数据处理装置（400）分析第一数据（810），其中获得主表面（111）上的地方的位置数据（830），在所述地方处第一数据（810）满足预定准则；以及通过数据接口单元（490）输出位置数据（830）。
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