[发明专利]激光加工装置有效
| 申请号： | 201811493784.0 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109967883B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 井高护;斋藤雅纪;山川英树;小川和義 | 申请（专利权）人： | 株式会社基恩士 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70;B23K26/064;B23K26/0622;B23K26/046;B23K26/14 |
| 代理公司： | 北京格罗巴尔知识产权代理事务所(普通合伙) 11406 | 代理人： | 孙德崇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种激光加工装置。目的是抑制由于可能形成在引导光出射装置或摄像装置中的杂质而导致的激光的输出降低。激光引导部包括透射窗部、被布置成使从激光输出部出射的UV激光的光路和透射过透射窗部的透射光的光路交叉的光学部件、以及设置有透射窗部的密封构件，密封构件构成用于气密地收容光学部件的密封空间。在密封空间的外侧布置有引导光出射装置和摄像装置中的至少一者，引导光出射装置被构造成朝向透射窗部出射用于使UV激光的扫描位置可视化的引导光，摄像装置被构造成经由透射窗部接收用于对被加工物摄像的光。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其包括：激发光产生部，其被构造成产生激发光；激光输出部，其被构造成基于由所述激发光产生部产生的激发光产生UV激光并且出射所述UV激光；激光扫描部，其被构造成将从所述激光输出部出射的UV激光照射在被加工物上并且使所述UV激光在所述被加工物的表面上扫描；以及激光引导部，其被构造成形成用于将从所述激光输出部出射的UV激光引导到所述激光扫描部的光路，其中，所述激光引导部包括：透射窗部，其被构造成透射预定的光；光学部件，其被布置成使从所述激光输出部出射的UV激光的光路和透射过所述透射窗部的透射光的光路交叉；及密封构件，所述透射窗部设置于所述密封构件，所述密封构件构成用于气密地收容所述光学部件的密封空间，并且在所述密封空间的外侧布置有摄像装置和引导光出射装置中的至少一者，所述引导光出射装置被构成为朝向所述透射窗部出射用于使所述UV激光的扫描位置可视化的引导光，所述摄像装置被构造成经由所述透射窗部接收用于对所述被加工物摄像的光。
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