[发明专利]一种双层手性结构的制备方法有效
| 申请号： | 201811490968.1 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109490998B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 吕广超;薛岩;张岩;刘凯;王天堃 | 申请（专利权）人： | 吉林大学第一医院 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 重庆晟轩知识产权代理事务所(普通合伙) 50238 | 代理人： | 孔玲珑 |
| 地址： | 130000*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及微纳结构制备领域，具体涉及一种双层手性结构的制备方法，主要制备步骤包括准备玻璃基底、甩胶、曝光、显影定影、蒸镀金属材料和剥离光刻胶。该制备双层手性结构的方法只需要曝光一次，蒸镀一次就可以得到双层结构，并且上下层间距也可以在蒸镀过程中进行调节。该制备方法简便易操作，制备的双层结构精确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 手性 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双层手性结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：准备玻璃基底(100)：准备ITO玻璃基底(100)并清洗吹干；涂覆光刻胶：用甩胶机在所述基底(100)的表面甩两层光刻胶层；电子束曝光结构图形：用图形发生器设计矩形周期阵列结构，所述矩形周期阵列结构的每个单元结构由第一矩形(1)、第二矩形(2)和第三区域(3)组成，所述第一矩形(1)和第二矩形(2)垂直设置，且有一角相接，该每个单元结构除过第一矩形(1)和第二矩形(2)的部分为第三区域(3)；设计好图形之后，用扫描电子显微镜曝光第一矩形(1)和第三区域(3)，对不同区域曝光的深度不同；显影定影：先用正胶显影定影液进行处理，再用负胶显影定影液进行处理；蒸镀金属：采用电子束真空蒸发镀膜仪垂直蒸镀金属材料(103)；剥离光刻胶：用负胶剥离液对负胶(102)进行lift‑off工艺。
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