[发明专利]一种离子推力器放电室内部沉积溅射的测量方法在审
| 申请号： | 201811486863.9 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109751977A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 李得天;王蒙;顾左;宋莹莹;赖承祺;郭伟龙;赵勇 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 高燕燕 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子推力器放电室内部沉积溅射的测量方法，能够在推力器内部适用，而且可以在短期工作验证下快速有效评估离子推力器放电室关键部组件的寿命和磨损机理。首先，将离子推力器安装在真空系统内，用于收集沉积物的基片安装在离子推力器放电室内部核心部件对应的指定位置；基片为无机非金属基片，且部分面积覆盖有遮挡物；推力器连续工作至少50h后，基片上留有累积的沉积物；推力器停止工作，将基片取下，剥离覆盖的遮挡物；利用表面轮廓测量装置量取基片沉积区域和洁净区域的厚度差；利用表面材料探测装置，采样分析基片上沉积物的元素组成；根据测试结果，半定量分析出核心部件的溅射产额及磨损速率。 | ||
| 搜索关键词： | 离子推力器 沉积物 室内部 推力器 放电 溅射 核心部件 遮挡物 沉积 磨损 表面轮廓测量装置 测量 半定量分析 无机非金属 表面材料 采样分析 沉积区域 基片安装 洁净区域 面积覆盖 探测装置 元素组成 真空系统 放电室 厚度差 量取 取下 剥离 验证 评估 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种离子推力器放电室内部沉积溅射的测量方法，其特征在于，包括：步骤1、将离子推力器安装在真空系统内，用于收集沉积物的基片安装在离子推力器放电室内部核心部件对应的指定位置；所述基片为无机非金属基片，且部分面积覆盖有遮挡物；步骤2、推力器连续工作至少50h后，基片上留有累积的沉积物；步骤3、推力器停止点火开启真空舱，将基片取下，剥离覆盖的遮挡物；基片上部分为沉积区域，部分为无沉积的洁净区域；步骤4、利用表面轮廓测量装置，量取基片沉积区域和洁净区域的厚度差；步骤5、利用表面材料探测装置，采样分析基片上沉积物的元素组成；步骤6、根据步骤4和步骤5的测试结果，半定量分析出核心部件的溅射产额及磨损速率。
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