[发明专利]聚二甲基硅氧烷表面微纳结构飞秒激光双脉冲调控方法

摘要

本发明涉及一种聚二甲基硅氧烷表面微纳结构飞秒激光双脉冲调控方法，属于飞秒激光应用领域；本发明基于局域瞬态电子调控，通过光学延迟线把传统的飞秒激光在时域上调制为包含两个子脉冲的脉冲链，使得脉冲间隔可调，同时激光能量可用可连续调节的衰减片调节，通过半透半反镜使两束光在空间上重合。控制精密加工平台移动的速率，飞秒激光每隔固定的距离在聚二甲基硅氧烷材料表面作用一组脉冲对；利用超声波水浴辅助，将刻蚀后的样品在去离子水中彻底清洗干净。本发明通过调整脉冲参数（脉冲间隔、脉冲能量），可加工表面光滑以及表面周期性纳米条纹对比度可控的凹面微结构。并且具有高效率、低成本、凹面微纳结构形貌可控等优点。

主权项

1.聚二甲基硅氧烷表面微纳结构飞秒激光双脉冲调控方法，其特征在于：具体步骤如下：步骤一、通过脉冲整形的基本方法，把传统的飞秒激光在时域上调制为包含两个子脉冲的飞秒激光，两个子脉冲之间的脉冲间隔可调范围为0~5ps；步骤二、在光路中加入可连续调节的衰减片调节激光能量使之大于被加工样品表面的烧蚀阈值，两个子脉冲的能量范围为0~9mW，能量比为1:1；步骤三、利用数值孔径值为0.3的聚焦物镜对飞秒激光双脉冲进行聚焦；步骤四、设定精密加工平台移动速度为2000mm/s，使得飞秒激光每隔一段距离在样品表面作用一对脉冲，从而在样品上以飞秒激光脉冲作用焦点为中心产生一个光破坏区，最终形成大规模非规则排列的准周期弹坑点阵；步骤五、通过调节飞秒激光双脉冲的脉冲间隔、脉冲能量，得到不同形貌的表面微纳结构。