[发明专利]聚二甲基硅氧烷表面微纳结构飞秒激光双脉冲调控方法

权利要求书

1.聚二甲基硅氧烷表面微纳结构飞秒激光双脉冲调控方法，其特征在于：具体步骤如下：

步骤一、通过脉冲整形的基本方法，把传统的飞秒激光在时域上调制为包含两个子脉冲的飞秒激光，两个子脉冲之间的脉冲间隔可调范围为0～5ps；

步骤二、在光路中加入可连续调节的衰减片调节激光能量使之大于被加工样品表面的烧蚀阈值，两个子脉冲的能量范围为0～9mW，能量比为1:1；

步骤三、利用数值孔径值为0.3的聚焦物镜对飞秒激光双脉冲进行聚焦；

步骤四、设定精密加工平台移动速度为2000μm/s，使得飞秒激光每隔一段距离在样品表面作用一对脉冲，从而在样品上以飞秒激光脉冲作用焦点为中心产生一个光破坏区，最终形成大规模非规则排列的准周期弹坑点阵；

步骤五、通过调节飞秒激光双脉冲的脉冲间隔、脉冲能量，得到不同形貌的表面微纳结构。

2.根据权利要求1所述的聚二甲基硅氧烷表面微纳结构飞秒激光双脉冲调控方法，其特征在于，通过调节飞秒激光两个子脉冲的脉冲间隔，可以调控凹面微结构内的周期性纳米条纹的对比度。