[发明专利]光声传感器、用于检测气密性的方法和系统有效
| 申请号： | 201811468229.2 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109990956B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | M·埃贝尔;F·约斯特;S·科尔布 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/24 | 分类号： | G01M3/24;G01M3/38 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;张鹏 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及光声传感器、用于检测气密性的方法和系统。系统(100)的示例包括：以气体(110)填充的容积(102)；气体激励设备(104)，构造用于激励容积(102)内部的气体(110)；麦克风(106)，构造用于输出麦克风信号，其取决于受气体激励设备(104)激励的气体；检测单元(108)，构造用于基于麦克风信号检测容积(102)的气密性。光声传感器(400)的示例包括：不透气的、封闭的传感器单元(402)、气体激励设备(411)和检测单元(416)，检测单元构造用于基于麦克风信号来检测传感器单元的气密性，麦克风信号取决于热学激励的气体。示例还包括用于检测以气体填充的容积的气密性的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 用于 检测 气密性 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光声传感器，包括：以气体(110)填充的容积(102)；气体激励设备(104)，所述气体激励设备构造用于激励所述容积(102)内部的所述气体(110)；麦克风(106)，所述麦克风构造用于输出麦克风信号(112)，所述麦克风信号(112)取决于受所述气体激励设备(104)激励的气体(110)；以及检测单元(108)，所述检测单元构造用于基于所述麦克风信号(112)来检测所述容积(102)的气密性。
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