[发明专利]一种硅基可调谐激光器有效
申请号: | 201811467091.4 | 申请日: | 2018-12-03 |
公开(公告)号: | CN109378707B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 冯朋;肖希;王磊;李淼峰;张宇光;胡晓;陈代高 | 申请(专利权)人: | 武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
主分类号: | H01S5/065 | 分类号: | H01S5/065;H01S5/10;H01S5/125;H01S5/022 |
代理公司: | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人: | 王维 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅基可调谐激光器,涉及硅基光子学与集成光电子学领域,包括:集成在硅基平台的半导体放大器;模斑转换器,其与半导体放大器的背光端相连,模斑转换器包括双倒锥波导;非对称马赫‑曾德尔干涉仪AMZI,其包括不等长的第一臂和第二臂,第一臂和第二臂的输入端分别与双倒锥波导级联,第一臂和第二臂的输出端交汇形成单波导,第二臂上设有加热器;第一微环滤波器,其与第一臂级联,第一微环滤波器上设有加热器;第二微环滤波器,其与第二臂级联,第二微环滤波器上设有加热器。分布式布拉格反射器DBR,用于实现光学反馈,形成于单波导上。本发明制作成本低、工艺简单、集成度高且利于大规模生产,能提高调谐带宽和波长稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅基可 调谐 激光器 | ||
【主权项】:
1.一种硅基可调谐激光器,其特征在于,包括:集成在硅基平台的半导体放大器;模斑转换器,其与所述半导体放大器的背光端相连,所述模斑转换器包括双倒锥波导;非对称马赫‑曾德尔干涉仪AMZI,其包括不等长的第一臂和第二臂,所述第一臂和第二臂的输入端分别与所述双倒锥波导级联,所述第一臂和第二臂的输出端交汇形成单波导,且所述第二臂上设有加热器;第一微环滤波器,其与所述第一臂级联,所述第一微环滤波器上设有加热器;第二微环滤波器,其与所述第二臂级联,所述第二微环滤波器上设有加热器;以及分布式布拉格反射器DBR,其用于实现光学反馈,所述DBR形成于所述单波导上。
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