[发明专利]扫描及分析表面的方法、其检查系统及计算机可读媒体有效
| 申请号： | 201811462210.7 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110044295B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 庄胜翔;刘旭水;白峻荣;郭守文;胡政纲;廖姣柔 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;H04N5/225 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于扫描以及分析表面的方法，所述方法包括以下步骤。接收具有用于检查的目标表面的一件设备。接收来自用户的输入。基于用户输入确定至少一个扫描参数。根据至少一个扫描参数使用光侦测器扫描目标表面。产生目标表面的图像。基于至少一个扫描参数校正目标表面的图像以移除至少一个不合需要的特征，从而产生校正图像。分析校正图像以确定目标表面的至少一个几何参数。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 分析 表面 方法 检查 系统 计算机 可读 媒体 | ||
【主权项】：
1.一种用于扫描及分析表面的方法，所述方法包括：接收具有用于检查的目标表面的一件设备；接收来自用户的输入；基于所述用户的所述输入确定至少一个扫描参数；根据所述至少一个扫描参数使用光侦测器扫描所述目标表面；产生所述目标表面的图像；基于所述至少一个扫描参数校正所述目标表面的所述图像以移除至少一个不合需要的特征，从而产生校正图像；以及分析所述校正图像以确定所述目标表面的至少一个几何参数。
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