[发明专利]一种光学玻璃的镀膜工艺在审
| 申请号： | 201811422329.1 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111217539A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 高勇军 | 申请（专利权）人： | 宜城市泳瑞玻璃科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 吴肖敏 |
| 地址： | 441400 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学玻璃的镀膜工艺，属于光学玻璃技术领域；清洗光学玻璃：使用光学玻璃清洗剂通过超声波进行清洗；准备真空镀膜设备：将镀膜设备内抽真空，使真空度达到8×10‑4～10×10‑4Pa；在光学玻璃基体上采用磁控溅射的方式镀一层金属氧化膜，膜层为三氧化硅，采用硅为靶材，在抽真空设备中使用氩气作为喷溅气体，通过氧气作为反应气体，设定氩气流量为25‑35sccm，设备内压力0.4～1.0pa，氩气和氧气的比例为1:3；在金属氧化层上通过溅射气体的方式镀AZO层；在AZO层上加镀一层ITO薄膜，加镀一层银层；具有很高的化学稳定性，容易制造，膜层也更加坚硬；隔热性能好，工艺自动化程度较高，膜层控制容易，产品质量稳定，光学性能优良等特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学玻璃 镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
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