[发明专利]一种光学玻璃的镀膜工艺

说明书

本发明涉及一种光学玻璃的镀膜工艺，属于光学玻璃技术领域；清洗光学玻璃：使用光学玻璃清洗剂通过超声波进行清洗；准备真空镀膜设备：将镀膜设备内抽真空，使真空度达到8×10‑4～10×10‑4Pa；在光学玻璃基体上采用磁控溅射的方式镀一层金属氧化膜，膜层为三氧化硅，采用硅为靶材，在抽真空设备中使用氩气作为喷溅气体，通过氧气作为反应气体，设定氩气流量为25‑35sccm，设备内压力0.4～1.0pa，氩气和氧气的比例为1:3；在金属氧化层上通过溅射气体的方式镀AZO层；在AZO层上加镀一层ITO薄膜，加镀一层银层；具有很高的化学稳定性，容易制造，膜层也更加坚硬；隔热性能好，工艺自动化程度较高，膜层控制容易，产品质量稳定，光学性能优良等特性。

技术领域

本发明涉及一种光学玻璃的镀膜工艺，属于光学玻璃技术领域。

背景技术

玻璃镀膜是一种化学高分子材料，因为其具有高密度的化学特性，所以被应用在汽车美容领域，同时玻璃镀膜，具有光泽度高、抗氧化、耐酸碱、抗紫外线的特点，用来给漆面镀膜后，漆面光泽度很好，并把漆面与外界隔绝开来，起到了很好的保护作用。

随着国内经济持续、稳定发展，中国光学玻璃制造行业发展迅猛。根据国家统计局数据显示，2010年，光学玻璃制造行业规模以上企业数量达246家，行业全年实现销售收入为234.05亿元，同比增长53.70％；实现利润15.37亿元，同比增长87.10％；资产规模达到264.50亿元，同比增长77.49％。由于光学玻璃制造行业以国内销售为主，金融危机对其影响相对较小，行业依然表现出较好的增长势头。

光学玻璃是光电技术产业的基础和重要组成部分。特别是在20世纪90年代以后，随着光学与电子信息科学、新材料科学的不断融合，作为光电子基础材料的光学玻璃在光传输、光储存和光电显示三大领域的应用更是突飞猛进，成为社会信息化尤其是光电信息技术发展的基础条件之一。

现有的光学玻璃的外壁均设有镀膜层，镀膜既可以提高光学指数，还可以增加耐磨等功能，但是现有的镀膜一般为单层或单一功能的，光学玻璃在实际使用中，很多领域的应用中存在很多弊端，解决办法是将多种单层膜复合，但是，目前的镀膜技术并不支持多层复合，即使操作，也达不到预估效果，甚至会对光学玻璃造成伤害。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种设计合理、操作方便的光学玻璃的镀膜工艺。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：所述光学玻璃的镀膜工艺包含以下步骤：

1、清洗光学玻璃：使用光学玻璃清洗剂通过超声波进行清洗；

2、准备真空镀膜设备：将镀膜设备内抽真空，使真空度达到8×10-4～10×10-4Pa；

3、在光学玻璃基体上采用磁控溅射的方式镀一层金属氧化膜，膜层为三氧化硅，采用硅为靶材，在抽真空设备中使用氩气作为喷溅气体，通过氧气作为反应气体，设定氩气流量为25-35sccm，设备内压力0.4～1.0pa，氩气和氧气的比例为1:3；

4、在金属氧化层上通过溅射气体的方式镀AZO层(氧化锌铝层)；

5、在AZO层上加镀一层ITO薄膜，ITO薄膜是一种n型半导体材料，其带隙为3.5-4.3ev，紫外光区产生禁带的励起吸收阈值为3.75ev，相当于330nm的波长，因此紫外光区ITO薄膜的光穿透率极低。同时近红外区由于载流子的等离子体振动现象而产生反射，所以近红外区ITO薄膜的光透过率也是很低的。同时具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性；

6、加镀一层银层，通过喷涂与烘烤方式的结合喷镀一层薄薄的银层；