[发明专利]不同电压偏置下的电容测试方法及其测试芯片、系统在审
| 申请号： | 201811413014.0 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109991526A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 杨璐丹;窦晓昕;潘伟伟 | 申请（专利权）人： | 杭州广立微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R27/26 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 吴双 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种不同电压偏置下的电容测试方法及其测试芯片、系统，所述测试方法包括：在等效电压偏置范围内使用相邻间隔为△V的M个电压分割点等分该等效电压偏置；提供频率为f，振幅为Vstep，中心点为Vbias的方波电压VG作为充电电压；在每一个电压分割点的充电电压振幅Vstep＝△V、Vbias＝‑Vdd～Vdd的条件下测得充电电流I1_1与放电电流I2_1；改变充电电压VG为直流电压Vbias，在此条件下侧得背景噪声充电电流I1_2与放电电流I2_2；计算得出该等效电压偏置下的C(Vbias)；得到每个电压分割点的C‑V曲线。本发明能利用微分原理方法进行不同等效电压偏置下的电容测试。 | ||
| 搜索关键词： | 等效电压 偏置 充电电压 电容测试 电压分割 测试芯片 充电电流 电压偏置 放电电流 背景噪声 方波电压 微分原理 相邻间隔 直流电压 中心点 测试 | ||
【主权项】：
1.一种不同电压偏置下的电容测试方法，其特征在于，具体包括下述步骤：步骤a：在等效电压偏置范围内，使用相邻间隔为△V的M个电压分割点等分该等效电压偏置，M为大于1的整数；步骤b：提供频率为f、振幅为Vstep、中心点为Vbias的方波电压VG，作为充电电压；步骤c：在每一个电压分割点的充电电压振幅Vstep＝△V、Vbias＝‑Vdd～Vdd的条件下测得充电电流I1_1与放电电流I2_1；步骤d：改变方波电压VG为直流电压Vbias，在此条件下测得背景噪声充电电流I1_2与放电电流I2_2；步骤e：通过公式![]()
计算得出该等效电压偏置下的C(Vbias)；步骤f：在下一个电压分割点重复步骤b至步骤e，直到所有电压分割点均测量完成；步骤g：根据每个电压分割点的电压与该电压条件下测试计算得出的电容值，绘制出C‑V曲线。
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