[发明专利]微流体致动器的制造方法有效
| 申请号： | 201811405745.0 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN111217317B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;李伟铭 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B1/00;B81C1/00;F04B43/04 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微流体致动器的制造方法，包含步骤：1.提供一基板，并沉积一氧化材料于基板上，形成一腔体层；2.沉积一氮化材料于腔体层，以形成一振动层；3.沉积一金属材料及一压电材料于振动层上，并蚀刻形成一致动层；4.蚀刻基板，以形成多个流道；5.沉积氧化材料于基板，以形成一遮罩层，并蚀刻基板，以形成多个连接流道；6.蚀刻腔体层，以形成一储流腔室；7.提供一孔板层，并蚀刻形成多个流道口；8.以滚压干膜及光刻制程于孔板层制出一流道层及多个通道；以及9.以覆晶对位及热压接合基板与流道层，以构成微流体致动器整体结构。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 致动器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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