[发明专利]一种晶圆测试探针卡磨损度的监控方法在审
| 申请号： | 201811389845.9 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109540051A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 刘芹篁;范亚明;朱璞成;刘斌;陈诗伟;黄蓉;宋振磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹;王锋 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种晶圆测试探针卡磨损度的监控方法，包括由探针管理系统读取并对探针台所发出的晶圆测试数据包进行数据分析，得到探针卡下针总数；探针管理系统根据探针卡实际针头尺寸与该探针卡下针总数，计算得到探针针头每个磨损值所能测试的下针针数；探针管理系统将该每个磨损值所能测试的下针针数与预先设置的磨损度极限值进行比较，并将比较结果反馈给探针台，由探针台对晶圆测试进行相应操作。本发明提高了探针卡的测试效率，降低晶圆的测试成本，避免晶圆不必要的良率损失，从而有效提高晶圆的良率，同时对探针卡进行有效的监控。 | ||
| 搜索关键词： | 探针卡 下针 管理系统 磨损度 探针台 晶圆 探针 测试探针卡 晶圆测试 良率 针数 种晶 监控 磨损 读取 测试 测试成本 测试效率 数据分析 探针针头 预先设置 数据包 针头 反馈 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆测试探针卡磨损度的监控方法，其特征在于，包括：S1，由探针管理系统读取并对探针台所发出的晶圆测试数据包进行数据分析，得出本晶圆测试后的探针卡下针数，与设置的清针针数累加，得到探针卡下针总数；S2，所述探针管理系统根据探针卡实际针头尺寸与所述探针卡下针总数，计算得到探针针头每个磨损值所能测试的下针针数；S3，所述探针管理系统将所述每个磨损值所能测试的下针针数与预先设置的磨损度极限值进行比较，并将比较结果反馈给探针台，探针台根据所述比较结果对晶圆测试进行相应操作。
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