[发明专利]一种针对微透镜阵列的超精密加工装置及加工方法在审
申请号: | 201811373111.1 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN111198408A | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 张效栋;李泽骁;郭跃武 | 申请(专利权)人: | 三代光学科技(天津)有限公司 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市滨海新区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明公开了一种针对微透镜阵列的超精密加工装置及加工方法(18JCTPJC52100),其特征在于:包括主轴、透镜阵列工件、快速伺服系统机构、刀架和金刚石刀具,所述的超精密车床上安装有所述的主轴,所述的微透镜阵列选为但不限于平面基底阵列,其单元口径形状选为六边形但不仅限于六边形,单元面形选为但不限于凹球面,刀架上安装有所述的金刚石刀具,金刚石刀具与快速伺服系统机构连接。相对于现有技术,该针对微透镜阵列的超精密加工装置避免了加工缺陷,很好地保证了加工表面面形精度,避免了加工缺陷,实现了大面积、均匀的高表面质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 针对 透镜 阵列 精密 加工 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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