[发明专利]一种针对微透镜阵列的超精密加工装置及加工方法

权利要求书

1.一种针对微透镜阵列的超精密加工装置(18JCTPJC52100)，其特征在于：包括主轴、透镜阵列工件、快速伺服系统机构、刀架和金刚石刀具，所述的超精密车床上安装有所述的主轴，所述的微透镜阵列选为但不限于平面基底阵列，其单元口径形状选为六边形但不仅限于六边形，单元面形选为但不限于凹球面，刀架上安装有所述的金刚石刀具，金刚石刀具与快速伺服系统机构连接。

2.根据权利要求1所述的针对微透镜阵列的超精密加工装置，其特征在于：所述的主轴的旋转轴和微透镜阵列的几何中心轴线同轴。

3.根据权利要求1所述的针对微透镜阵列的超精密加工装置，其特征在于：所述的金刚石刀具安装在快速伺服机构上。

4.根据权利要求1所述的针对微透镜阵列的超精密加工装置，其特征在于：所述的微透镜阵列为平面基底阵列。

5.根据权利要求1所述的针对微透镜阵列的超精密加工装置，其特征在于：所述的微透镜阵列单元口径形状为六边形。

6.根据权利要求1所述的针对微透镜阵列的超精密加工装置，其特征在于：所述下沉部的数量为6个。

7.根据权利要求1所述的针对微透镜阵列的超精密加工装置，其特征在于：所述的微透镜阵列单元面形为凹球面。