[发明专利]双向拉伸装置及其方法

摘要

本发明公开了一种双向拉伸装置及其方法，双向拉伸装置包括：拉伸机构，拉伸机构包括多个用于固定样品的夹具、第一拉伸部件、第二拉伸部件及驱动机构；用于检测样品拉伸力的应力采集系统；双层框架结构，其包括相互叠加的第一框架及第二框架，拉伸机构位于温度控制炉中，第二框架上设置有观察框；与观察框对应设置的X射线探测器；X‑Z方向位移支架具有X方向调节装置及Z方向调节装置；控制及采集系统包括控制驱动机构运行的驱动控制单元、采集系统检测得到的拉伸力数值的应力应变采集单元及与X射线探测器连接的X射线散射图谱采集单元。上述双向拉伸装置，可以实现高通量的加工‑结构‑性能关系表征，从而为高性能薄膜生产提供强有力的指导。

主权项

1.一种双向拉伸装置，其特征在于，包括：拉伸机构(1)，所述拉伸机构(1)包括多个用于固定样品的夹具(11)、驱动所述夹具(11)沿第一方向拉伸所述样品的第一拉伸部件(12)、驱动所述夹具(11)沿第二方向拉伸所述样品的第二拉伸部件(13)及调节所述第一拉伸部件(12)及所述第二拉伸部件(13)拉伸力的驱动机构(3)，所述第一方向与所述第二方向垂直；用于检测所述样品拉伸力的应力采集系统(2)；双层框架结构，其包括相互叠加的第一框架及第二框架，所述第一框架与所述第二框架之间形成温度控制炉，所述拉伸机构(1)位于所述温度控制炉中，所述第二框架上设置有所述拉伸机构(1)的样品安装部位对应设置的观察框(5)；与所述观察框(5)对应设置的X射线探测器(6)；调节所述双层框架结构沿平行于所述样品所在平面运动的X‑Z方向位移支架(4)，所述X‑Z方向位移支架(4)具有调节所述双层框架结构水平运动的X方向调节装置及调节所述双层框架结构竖直运动的Z方向调节装置；控制及采集系统(7)，所述控制及采集系统(7)包括控制所述驱动机构(3)运行的驱动控制单元、采集所述应力采集系统(2)检测得到的拉伸力数值的应力应变采集单元及与所述X射线探测器(6)连接的X射线散射图谱采集单元。