[发明专利]微机械惯性传感器在审
| 申请号： | 201811364079.0 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109798972A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | J·莱茵穆特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，具有：‑固定在衬底上的能运动的震动质量(20a)，该震动质量具有梳状构造的第一电极(20c)；‑固定在所述衬底上的第二电极(20d)，其中，所述电极(20c、20d)这样构造，使得在未施加外部加速度的情况下所述第一电极(20c)与所述第二电极(20d)沿传感方向的重叠部分(L)限定地小并且小于约35％、优选小于约25％。 | ||
| 搜索关键词： | 微机械惯性传感器 第二电极 第一电极 衬底 震动 电极 传感 梳状 优选 施加 外部 | ||
【主权项】：
1.微机械惯性传感器(100)，具有：‑固定在衬底上的能运动的震动质量(20a)，该震动质量具有梳状构造的第一电极(20c)；‑固定在所述衬底上的第二电极(20d)，其中，所述电极(20c、20d)这样构造，使得在未施加外部加速度的情况下所述第一电极(20c)与所述第二电极(20d)沿传感方向的重叠部分(L)限定地小并且小于约35％、优选小于约25％。
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