[发明专利]微机械惯性传感器

权利要求书

1.微机械惯性传感器(100)，具有：

-固定在衬底上的能运动的震动质量(20a)，该震动质量具有梳状构造的第一电极(20c)；

-固定在所述衬底上的第二电极(20d)，其中，所述电极(20c、20d)这样构造，使得在未施加外部加速度的情况下所述第一电极(20c)与所述第二电极(20d)沿传感方向的重叠部分(L)限定地小并且小于约35％、优选小于约25％。

2.根据权利要求1所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，在关于所述惯性传感器(100)的测量范围的最大负加速度的情况下所述第一电极(20c)与所述第二电极(20d)沿传感方向的所述重叠部分(L)是这样的，使得所述第一电极和所述第二电极的端部区段限定地小地重叠或相对彼此小于所述第一电极(20c)和所述第二电极(20d)的所述端部区段之间的间距(d)地间隔开。

3.根据权利要求1所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，第一电极(20c)和/或所述第二电极(20d)的至少一个区段不平行于所述传感方向地构造，并且不平行于所述传感方向构造的所述区段在机械方面不限制所述第一电极(20c)和/或所述第二电极(20d)沿传感方向的运动。

4.根据前述权利要求中任一项所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述第二电极(20d)的至少一部分这样构造，使得所述第二电极(20d)的宽度沿传感方向在传感区域之后构造成宽度保持不变或以扩宽的方式构造。

5.根据前述权利要求中任一项所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述震动质量通过弹簧元件附接在所述衬底上，其中，所述弹簧元件这样构造，弹簧刚性沿传感方向限定地软地构造并且正交于所述传感方向限定地硬地构造。

6.根据前述权利要求中任一项所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述第一电极或所述第二电极的至少一部分在基本状态中在所述重叠部分(L)的区域中这样构造，使得当所述电极沿传感方向沉入彼此时，在所述电极(20c、20d)之间的间距在部分区域中减小。

7.根据前述权利要求中任一项所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，所述第一电极或所述第二电极的至少一部分在所述基本状态中在所述重叠部分(L)之外的区域中这样构造，使得当所述电极沿传感方向沉入彼此时，在所述电极(20c、20d)之间的间距在部分区域中增大。

8.根据前述权利要求中任一项所述的微机械惯性传感器(100)，其特征在于，设置停止器元件，其中，借助于所述停止器元件能限制所述第二电极(20d)到所述第一电极(20c)中的沉入深度。

9.用于制造微机械惯性传感器(100)的方法，具有以下步骤：

-提供具有梳状构造的第一电极(20c)的、固定在衬底上的能运动的震动质量(20a)；

-提供固定在所述衬底上的第二电极(20d)，其中，所述电极(20c、20d)这样构造，使得在未施加外部加速度的情况下所述第一电极(20c)与所述第二电极(20d)沿传感方向的重叠部分(L)限定地小并且小于约35％、优选小于约25％。