[发明专利]一种管件内壁真空镀膜装置及生产工艺

摘要

本发明公开了一种管件内壁真空镀膜装置及生产工艺，包括翻转组件、磁靴组件、真空腔室、阴极组件、管件台、加热筒、绝缘组件及密封组件，翻转组件套装在真空腔室上可实现上下料时的真空腔室的翻转，真空腔室内可套装管件台用于夹装待镀管件，管件台上套装加热筒用以加热管件，阴极组件通过绝缘组件及密封组件套装在待镀管件内，阴极组件包括磁控溅射阴极及电弧阴极，不同阴极装配相应的磁靴组件，通过利用一次性铜管加工靶料形成的水冷阴极在真空下的磁控溅射、电弧离子镀对管件内壁进行硬质涂层的沉积。本发明采用可翻转的真空腔室及替换性的阴极组件，实现对部分具有高要求的管件内壁进行涂层。

主权项

1.一种管件内壁真空镀膜装置，其特征为：其包括翻转组件、磁靴组件、真空腔室、阴极组件、管件台、加热筒、绝缘组件及密封组件；所述翻转组件包括装配有翻转电机的工作台，套装在真空腔室上，通过电机实现真空腔室上下料时的水平与竖直转换，实现上下料、阴极冷却；真空腔室为管状长腔，并通过上下盖板实现真空密封；真空腔室内可套装管件台用于夹装待镀管件，管件台上套装加热筒用以加热管件；阴极组件包括可多次重复加工使用的一次性铜管加工靶料的阴极靶管及上下进出水接头，其可通过绝缘组件及密封组件套装在待镀管件内，阴极组件包括磁控溅射阴极及电弧阴极，不同阴极装配相应的磁靴组件；真空腔室上预留有加热筒外接线路接口、管件偏压外接线接口、真空测量接口、抽气口、电弧放电引弧安装口及便于拆卸安装内部线路的方便门，真空腔室上盖板上有工艺气体进气口，真空抽气口位于下盖板侧，便于工艺气体的均匀分布；通过将一次性铜管加工靶料形成的水冷阴极套装在待镀管件内部，利用辉光放电或弧光放电过程在真空状态下的通过磁靴组件实现磁控溅射、电弧离子镀，从而对管件内壁进行硬质涂层的沉积。