[发明专利]保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置

摘要

本发明提供作业人员从处理槽外侧容易进行电镀处理槽内部的保养检查作业的水平搬运式的电解电镀装置。作业人员从槽外通过在电镀处理槽(1)及辅助槽(20)的各侧面部切缺形成的检查口(10、22)容易地进行电镀处理槽内部的保养检查作业。能够通过按压构件(14)简单可靠地将侧面盖板(11)安装于电镀处理槽的检查口(10)并拆除。在辅助槽的检查口(22)安装有上下滑动式的装拆构造的侧面盖板(23)，能够简单可靠地装拆。夹持基板制品(P)的两侧缘部来搬运的夹紧卡具(5)形成为能够通过固定用螺栓(41)和螺栓卡合孔(40)简单地装拆的构造，通过拆除该夹紧卡具，更容易进行电镀处理槽的内部的保养检查作业。

主权项

1.一种保养检查作业容易的水平搬运式的电解电镀装置，在电镀处理槽内的电镀液中将被供给阴极电流的基板制品以板面处于上下的状态在被供给阳极电流的上电极与下电极之间向一个方向水平地搬运，在该水平搬运过程中对基板制品进行电解电镀处理，所述电解电镀装置的特征在于，在塑料制的所述电镀处理槽的沿着制品搬运方向的两个侧面部切缺形成有能够从外侧对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的内侧检查口，该内侧检查口的切缺开口下缘部以至少处于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该内侧检查口以能够装拆的方式安装有从外侧将该内侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的塑料制的内侧的侧面盖板，而且在所述电镀处理槽的两个侧面部分别设置有从外侧包围所述内侧检查口且具有底面部和侧面部的辅助槽，在该辅助槽的与所述内侧检查口对应的侧面部的位置切缺形成有能够从外侧通过所述内侧检查口对电镀处理槽内进行保养检查的上方开口的外侧检查口，该外侧检查口的切缺开口下缘部也以至少位于基板制品的水平的搬运水平线的下方的高度位置的方式切缺形成，在该外侧检查口以能够装拆的方式安装有将该外侧检查口堵塞为密闭状态且能够拆除的外侧的侧面盖板。