[发明专利]扫描式微机电反射器系统及制造扫描式微机电反射器系统的方法

摘要

提供了一种具有中央支撑件的微机电反射器。本发明涉及一种扫描式微机电反射器系统，其包括具有反射器本体的反射器、在器件平面上方的与反射器本体竖向对准的第一腔体以及在器件平面下方的与反射器本体竖向对准的第二腔体。反射器还包括位于反射器本体中的中央开口内的中央附接点。一个或更多个挠曲件从中央开口的侧壁延伸至中央附接点。挠曲件使得在致动器单元将反射器本体向器件平面外倾斜时中央附接点能够保持静止在器件平面中。反射器系统包括延伸穿过腔体到达反射器的中央附接点的中央支撑结构。

主权项

1.一种扫描式微机电反射器系统，包括：‑器件晶片，所述器件晶片限定器件平面，其中，所述器件晶片包括反射器，所述反射器包括反射器本体，并且所述器件晶片还包括环绕所述反射器本体的固定框架以及被配置成用于将所述反射器本体向所述器件平面外倾斜的一个或更多个致动器单元，‑第一腔体和第二腔体，所述第一腔体在所述器件平面上方并与所述反射器本体竖向对准，所述第二腔体在所述器件平面下方并与所述反射器本体竖向对准，‑第一封装部件，所述第一封装部件位于所述器件晶片的顶部，其中，所述第一封装部件包括在竖向方向上界定所述第一腔体的第一腔体壁，‑第二封装部件，所述第二封装部件位于所述器件晶片下方，其中，所述第二封装部件包括在竖向方向上界定所述第二腔体的第二腔体壁，其特征在于，‑所述反射器还包括中央附接点，并且所述中央附接点位于所述反射器本体中的中央开口内，并且一个或更多个挠曲件从所述中央开口的侧壁延伸至所述中央附接点，并且‑所述挠曲件被配置成用于使得在所述一个或更多个致动器单元将所述反射器本体向所述器件平面外倾斜时所述中央附接点能够保持静止在所述器件平面中，并且‑所述第一腔体壁和所述第二腔体壁中的至少一者还包括中央支撑结构，所述中央支撑结构从所述腔体壁延伸穿过对应的腔体到达所述反射器的所述中央附接点。