[发明专利]一种吸气剂薄膜的加工衬底和加工工艺在审
| 申请号： | 201811330616.X | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111180294A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 甘先锋;杨水长;杨秀武 | 申请（专利权）人： | 烟台艾睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J7/18 | 分类号： | H01J7/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 264006 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种吸气剂薄膜的加工衬底，包括：衬底基板；所述衬底基板设有多组镂空槽，每组镂空槽围成的区域内设有多个吸气剂端子；覆盖在所述衬底基板上的硬掩膜版；所述硬掩膜版设有多个开孔，使上述每组镂空槽围成的区域不被硬掩膜版覆盖。本发明还提供了一种吸气剂薄膜的加工工艺，包括以下步骤：a)将吸气剂材料在加工衬底上进行沉积，切割后得到吸气剂薄膜；所述加工衬底为上述技术方案所述的加工衬底。与现有技术相比，本发明提供的加工工艺采用特定的加工衬底，避开了光刻和蚀刻工艺以及剥离工艺、划片工艺，减少设备投入，利于环保，加工周期短，从而能够实现吸气剂薄膜加工的简单高效化及低成本量产，并提升吸气剂薄膜的吸气性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸气 薄膜 加工 衬底 工艺 | ||
【主权项】：
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