[发明专利]直连空压机的激光清洗一体机在审
| 申请号： | 201811328627.4 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109570148A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 王奕博;林学春;张志研;梁浩;刘燕楠;赵树森 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种直连空压机的激光清洗一体机，所述激光清洗一体机与所述空压机相连，所述激光清洗一体机包括：气体干燥过滤系统，内置于所述激光清洗一体机机柜，将空压机输出的气体进行干燥、过滤后分为两路气体；第一路气体进入准连续激光器，用于谐振腔内的除湿干燥；第二路气体进入清洗头，用于保护清洗头前端的保护镜，吹除清洗目标物产生的粉尘，避免灰尘污染保护镜。本公开内置的气体干燥过滤系统，能够直接过滤空压机吹出气体中的粉尘、油污等杂质，使空压机能够直连激光清洗一体机，将输出的空气分为两路，一路用于谐振腔内的除湿干燥，另一路用于保护清洗头，两路气体的作用相互配合，利于激光清洗一体机的长期稳定运转。 | ||
| 搜索关键词： | 激光清洗 一体机 空压机 两路 直连 过滤系统 气体干燥 清洗头 谐振腔 除湿 粉尘 过滤 清洗 准连续激光器 长期稳定 灰尘污染 输出 油污 吹出 吹除 机柜 内置 运转 配合 | ||
【主权项】：
1.一种直连空压机的激光清洗一体机，所述激光清洗一体机与所述空压机相连，所述激光清洗一体机包括：气体干燥过滤系统，内置于所述激光清洗一体机机柜，将空压机输出的气体进行干燥、过滤后分为两路气体；准连续激光器，经过气体干燥过滤系统干燥过滤后的第一路气体进入准连续激光器，用于谐振腔内的除湿干燥；清洗头，经过气体干燥过滤系统干燥过滤后的第二路气体进入清洗头，用于保护清洗头前端的保护镜，吹除清洗目标物产生的粉尘，避免灰尘污染保护镜。
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