[发明专利]一种超薄石英晶片镀膜治具框

摘要

本发明公开了一种超薄石英晶片镀膜新型治具框，包括：固定基板，所述上基板和所述下基板形状相同，所述上基板和所述下基板上分别对应设置有多个晶片工位槽、多个磁铁工位槽，左右各一个第一定位孔和两矩形窗，所述第一电极板上设置有多个第一工位槽，所述第二电极板上设置有多个第二工位槽，每个所述第二工位槽包括一凸台，所述第二电极板上的所述第二工位槽与所述上基板和所述下基板上的所述工位槽一一对应。本发明利用其凸出部分深入Spacer工位槽里，接触石英晶片表面，从而增加晶片夹持力，有效避免了晶片晃动移位现象。至此解决了因Spacer过厚，晶片装载后出现的晶片晃动，晶片镀膜后出现的电极偏位，虚影等问题，且可有效防止治具翘曲变形，且操作简单的电极镀膜治具。

主权项

1.一种超薄石英晶片镀膜治具框，其特征在于，包括：固定基板，所述固定基板包括上基板和下基板，所述上基板和所述下基板形状相同，所述上基板和所述下基板上分别对应设置有多个晶片工位槽、多个磁铁工位槽，左右各一个第一定位孔和两矩形窗；第一电极板，所述第一电极板上设置有多个第一工位槽，所述第一电极板上的所述第一工位槽与所述上基板和所述下基板上的多个所述晶片工位槽一一对应，所述第一电极板设置在所述下基板的上部；第二电极板，所述第二电极板上设置有多个第二工位槽，每个所述第二工位槽设有凸台，所述第二电极板上的所述第二工位槽与所述上基板和所述下基板上的多个所述晶片工位槽一一对应，所述第二电极板设置在所述上基板的下面，所述凸台用于固定石英晶片；中间固定板，所述中间固定板设置有多个第三工位槽，多个所述第三工位槽分别与多个所述晶片工位槽一一对应，所述中间固定板设置在所述第一电极板和所述第二电极板之间；所述上基板、所述第一电极板、所述中间固定板、所述第二电极板和所述下基板依次自上而下设置。