[发明专利]距离测量装置有效
| 申请号： | 201811320266.9 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109959338B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | C·迪茨 | 申请（专利权）人： | 普雷茨特光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B9/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京金阙华进专利事务所(普通合伙) 11224 | 代理人： | 陈建春 |
| 地址： | 德国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了距离测量装置，包括测量头(20)，其中，测量头(20)包括光学测量系统(1)，用于借助至少一个由宽带测量光形成的测量光束(5)对测量对象(4)执行光学测量。测量头(20)还包括具有液体入口(28)和液体出口(27)的液体导向件(2)，用于产生针对所述测量对象(4)的液体喷射流，其中，液体导向件(2)被构造为，使得所述测量光束(5)至少在某些段基本上沿着所述液体喷射流延伸。测量头(20)还包括具有层流通道(8)的流动元件(3)，其中，所述流动元件(3)被构造为，使得至少一个测量光束(5)能够通过所述层流通道(8)到达所述测量对象(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 距离 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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