[发明专利]一种宽带束束流二维检测的方法与装置在审

专利信息
申请号: 201811306649.0 申请日: 2018-10-31
公开(公告)号: CN111128656A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 刘海财;张喻召;方加晔 申请(专利权)人: 北京中科信电子装备有限公司
主分类号: H01J37/244 分类号: H01J37/244;H01J37/317
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 101111 北京市通*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明阐述了一种宽带束束流二维检测的方法与装置,装置包括移动法拉第(1),通道选择板(27),信号转换板(28),上位机(29),电机1、2及传动装置(30)。移动法拉第(1)包含法拉第杯(2),(3),(4),(5),(6),(7),(8),(9),(10),(11),(12),(13),(14),(15),(16),(17),(18),(19),(20),(21),(22),(23),(24),(25),(26)。通道选择板(27)包含通道选择芯片(31),(32),(33),(34)。本发明特征:上位机(29)指令通过总线(35)控制通道选择板(27)的通道选择芯片(31),(32),(33),(34)的状态,选择输出束流信号,信号经过信号转换板(28)的处理,通过总线(35)传送至上位机。利用这些装置,通过电机1、2及传动装置(30)驱动移动法拉第(1)两方向移动,检测出宽带束二维束流大小。
搜索关键词: 一种 宽带 束束流 二维 检测 方法 装置
【主权项】:
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