[发明专利]一种宽带束束流二维检测的方法与装置在审
申请号: | 201811306649.0 | 申请日: | 2018-10-31 |
公开(公告)号: | CN111128656A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 刘海财;张喻召;方加晔 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/244 | 分类号: | H01J37/244;H01J37/317 |
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地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明阐述了一种宽带束束流二维检测的方法与装置,装置包括移动法拉第(1),通道选择板(27),信号转换板(28),上位机(29),电机1、2及传动装置(30)。移动法拉第(1)包含法拉第杯(2),(3),(4),(5),(6),(7),(8),(9),(10),(11),(12),(13),(14),(15),(16),(17),(18),(19),(20),(21),(22),(23),(24),(25),(26)。通道选择板(27)包含通道选择芯片(31),(32),(33),(34)。本发明特征:上位机(29)指令通过总线(35)控制通道选择板(27)的通道选择芯片(31),(32),(33),(34)的状态,选择输出束流信号,信号经过信号转换板(28)的处理,通过总线(35)传送至上位机。利用这些装置,通过电机1、2及传动装置(30)驱动移动法拉第(1)两方向移动,检测出宽带束二维束流大小。 | ||
搜索关键词: | 一种 宽带 束束流 二维 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
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