[发明专利]一种离子注入机中靶上晶圆冷却及注入温度精确控制系统有效
| 申请号： | 201811306648.6 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111128655B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 田龙;谢磊;李莉 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/32 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机中靶上晶圆冷却及注入温度精确控制的系统，包括：主控系统(1)、信号变送器(2)、红外温度探头(3)、冷却机(4)、水冷管路(5)、回水温度传感器(6)、气冷装置(7)、气冷管路(8)、靶盘(9)、晶圆(10)、气膜(11)。此系统实现全晶圆本身注入温度的精确检测，并准确实时地控制注入温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 机中靶上晶圆 冷却 温度 精确 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811306648.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：油管收发装置
- 下一篇：一种宽带束束流二维检测的方法与装置
