[发明专利]一种等离子体反应腔进气系统有效
| 申请号： | 201811299284.3 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN111146063B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 许开东;胡冬冬;李娜;琚里;邱勇;侯永刚;车东晨;陈璐 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟;阿苏娜 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种等离子体反应腔进气系统，包括设置在等离子反应腔上部的中心进气孔和设置在等离子体反应腔边缘的边缘进气孔，还包括匀气内环，其表面开设有导气孔，以可绕轴向转动的方式设置在所述等离子反应腔内。本发明通过设计导气孔与匀气内环的径向形成一定夹角，利用导气孔喷入的高速气体，使匀气内环在高速气流的作用下绕轴向转动，从而达到气流高度对称分配的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 反应 腔进气 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏鲁汶仪器有限公司，未经江苏鲁汶仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811299284.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
