[发明专利]一种压力传感器在审
| 申请号： | 201811296931.5 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN111122026A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 孙业超;尚海平;王英辉 | 申请（专利权）人： | 中科院微电子研究所昆山分所 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01L9/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器，包括圆形的敏感膜片，以及与敏感膜片相接触的四个压阻条，该四个压阻条均位于敏感膜片的边缘区域；其中边缘区域为压力传感器中应力不小于应力峰值的90％所对应的区域。由于敏感膜片呈圆形，使得敏感膜片的边缘区域的应力线性度得到了极大的改善；而当敏感膜片发生形变时，应力主要集中在上述边缘区域中。将压阻条设置在上述边缘区域时，可以有效增加在工作状态时压阻条电阻变化的范围，从而使得压力传感器具有较高的输出电压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力传感器 | ||
【主权项】：
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