[发明专利]微元件的检测装置及其制造方法在审
| 申请号： | 201811291812.0 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111198313A | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 陈博;邢汝博;李晓伟;韦冬;陈波 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种微元件的检测装置及其制造方法，检测装置包括：基板；固定座，固定于基板一表面；悬臂梁，与基板间隔设置，一端固定于固定座，另一端作为检测端；导线，沿着悬臂梁延伸，一端延伸至悬臂梁的检测端，且背向基板。本申请检测装置可与被检测微元件保持良好的接触，从而提高检测可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 元件 检测 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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