[发明专利]单色激发X射线荧光光谱仪有效
申请号: | 201811272585.7 | 申请日: | 2018-10-30 |
公开(公告)号: | CN109030529B | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 徐晓东;倪虹;赵金刚 | 申请(专利权)人: | 上海爱斯特电子有限公司 |
主分类号: | G01N23/223 | 分类号: | G01N23/223 |
代理公司: | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人: | 金利琴 |
地址: | 201500 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种单色激发X射线荧光光谱仪,包括:(1)被选择用于产生x射线光束的x射线源,(2)将X射线源产生的X射线光束聚焦到样品上的光学器件,并选择期望能量的x射线,(3)能量分辨X射线探测器。单色激发X射线荧光光谱仪配置如下:(i)X射线源采用一个不大于50W的小功率X光管,其发出的x射线是发散的,并有一个确定的光斑尺寸,(ii)光学元件采用对数螺线旋转双曲面人工晶体,从而完全且只聚焦X射线源所发出的期望能量的x射线,并且具有极高的衍射效率,(iii)能量分辨X射线探测器优选地采用硅漂移半导体探测器。采用上述配置的光谱仪,是一种小型、简单、低价、特别是具有极低检出限的单色激发X射线荧光光谱仪。 | ||
搜索关键词: | 单色 激发 射线 荧光 光谱仪 | ||
【主权项】:
1.一种单色激发X射线荧光光谱仪,其特征在于,包括:选择用于产生X射线束的X射线源;X射线光学器件,其将由所述X射线源产生的X射线束聚焦到样品上并选择期望能量的X射线;和能量分辨X射线探测器。
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