[发明专利]蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法有效

专利信息
申请号: 201811257266.9 申请日: 2018-10-26
公开(公告)号: CN109722627B 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 宫谷勋;青木大吾;牛草昌人;村田佳则;冈本英介 申请(专利权)人: 大日本印刷株式会社
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 于靖帅;黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法,抑制发生贯通孔的位置偏移。蒸镀掩模具有:有效部,在该有效部上设置有多个贯通孔;以及外框部,其包围有效部。有效部包含:外周区域,其与外框部接触;以及中央区域,其被外周区域包围,具有比外周区域大的厚度。
搜索关键词: 蒸镀掩模 制造 方法
【主权项】:
1.一种蒸镀掩模,其中,该蒸镀掩模具有:有效部,在该有效部上设置有多个贯通孔;以及外框部,其包围所述有效部,所述有效部包含:外周区域,其与所述外框部接触;以及中央区域,其被所述外周区域包围,具有比所述外周区域大的厚度。
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