[发明专利]蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法有效
申请号: | 201811257266.9 | 申请日: | 2018-10-26 |
公开(公告)号: | CN109722627B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 宫谷勋;青木大吾;牛草昌人;村田佳则;冈本英介 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法,抑制发生贯通孔的位置偏移。蒸镀掩模具有:有效部,在该有效部上设置有多个贯通孔;以及外框部,其包围有效部。有效部包含:外周区域,其与外框部接触;以及中央区域,其被外周区域包围,具有比外周区域大的厚度。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀掩模 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种蒸镀掩模,其中,该蒸镀掩模具有:有效部,在该有效部上设置有多个贯通孔;以及外框部,其包围所述有效部,所述有效部包含:外周区域,其与所述外框部接触;以及中央区域,其被所述外周区域包围,具有比所述外周区域大的厚度。
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