[发明专利]一种校准外延腔温度的方法有效
| 申请号： | 201811253222.9 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109238510B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 董晨华;林志鑫;季文明;刘源 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K13/00 | 分类号： | G01K13/00;G05D23/19 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种校准外延腔温度的方法，所述方法包括:提供若干晶圆；提供第一外延腔，在所述第一外延腔中处理所述晶圆以形成第一雾状表面，分别测量所述第一外延腔的不同温度下相应的第一雾状表面的值；提供第二外延腔，在所述第二外延腔中处理所述晶圆以形成第二雾状表面，分别测量所述第二外延腔的不同温度下相应的第二雾状表面的值；将所述第一外延腔与所述第二外延腔的温度校准在同一水平。根据本发明提供的校准外延腔温度的方法，可以简单、准确、直接地校准外延腔温度，从而提高外延产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校准 外延 温度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种校准外延腔温度的方法，其特征在于，包括以下步骤：提供若干晶圆；提供第一外延腔，在所述第一外延腔中处理所述晶圆以形成第一雾状表面，分别测量所述第一外延腔的不同温度下相应的第一雾状表面的值；提供第二外延腔，在所述第二外延腔中处理所述晶圆以形成第二雾状表面，分别测量所述第二外延腔的不同温度下相应的第二雾状表面的值；将所述第一外延腔与所述第二外延腔的温度校准在同一水平。
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