[发明专利]平行可动电极厚度测量方法、装置及系统有效
| 申请号： | 201811250579.1 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109489605B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 黄钦文;恩云飞;王蕴辉;朱军华;董显山 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;G01B11/14 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周清华 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种平行可动电极厚度测量方法、装置及系统。所述方法包括：获取静电换能器在各偏置电压下分别对应的极间距离；极间距离为静电换能器的可动电极的第一端面至固定电极的第一端面的距离；可动电极的第一端面远离固定电极设置；固定电极的第一端面靠近可动电极设置；根据各偏置电压和各极间距离，得到可动电极的厚度，因此，通过平行可动电极厚度测量方法建立偏置电压、电极间距与可动电极的厚度之间的关系，避免了传统技术直接采用仪器测量带来的误差，提高了测量平行结构静电换能器的可动电极的厚度的精度，进而为分析静电换能器的性能提高良好的支持。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 电极 厚度 测量方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种平行可动电极厚度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：获取静电换能器在各偏置电压下分别对应的极间距离；所述极间距离为所述静电换能器的可动电极的第一端面至固定电极的第一端面的距离；所述可动电极的第一端面远离所述固定电极设置；所述固定电极的第一端面靠近所述可动电极设置；根据各所述偏置电压和各所述极间距离，得到所述可动电极的厚度。
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