[发明专利]平行可动电极厚度测量方法、装置及系统

权利要求书

1.一种平行可动电极厚度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取静电换能器在各偏置电压下分别对应的极间距离；所述极间距离为所述静电换能器的可动电极的第一端面至固定电极的第一端面的距离；所述可动电极的第一端面远离所述固定电极设置；所述固定电极的第一端面靠近所述可动电极设置；其中，各偏置电压包括第一偏置电压、第二偏置电压和第三偏置电压V₃；各极间距离包括与所述第一偏置电压对应的第一极间距离、与所述第二偏置电压对应的第二极间距离和与所述第三偏置电压对应的第三极间距离；

根据各偏置电压和各极间距离，得到所述可动电极的厚度；其中，根据各偏置电压和各极间距离，得到所述可动电极的厚度的步骤中，基于以下公式得到所述可动电极的厚度：

其中，V₁为所述第一偏置电压；V₂为所述第二偏置电压；V₃为所述第三偏置电压；D₁为所述第一极间距离；D₂为所述第二极间距离；D₃为所述第三极间距离；t为所述可动电极的厚度。

2.根据权利要求1所述的平行可动电极厚度测量方法，其特征在于，所述各偏置电压小于所述静电换能器的临界电压。

3.根据权利要求2所述的平行可动电极厚度测量方法，其特征在于，所述第三偏置电压为零电压，获取静电换能器在各偏置电压下分别对应的极间距离的步骤包括：

获取所述静电换能器在第一偏置电压下的第一极间距离、在第二偏置电压下的第二极间距离以及在第三偏置电压下的第三极间距离；

根据各所述偏置电压和各所述极间距离，得到所述可动电极的厚度的步骤中：

根据所述第一偏置电压、所述第二偏置电压、所述第一极间距离、所述第二极间距离以及所述第三极间距离，得到所述可动电极的厚度。

4.根据权利要求1所述的平行可动电极厚度测量方法，其特征在于，所述第一偏置电压、所述第二偏置电压或所述第三偏置电压为零电压。

5.根据权利要求4所述的平行可动电极厚度测量方法，其特征在于，所述第三偏置电压为零电压时，基于以下公式获取所述厚度：

6.一种平行可动电极厚度测量装置，其特征在于，所述装置包括：

数据获取模块，用于获取静电换能器在各偏置电压下分别对应的极间距离；所述极间距离为所述静电换能器的可动电极的第一端面至固定电极的第一端面的距离；所述可动电极的第一端面远离所述固定电极设置；所述固定电极的第一端面靠近所述可动电极设置；其中，各偏置电压包括第一偏置电压、第二偏置电压和第三偏置电压V₃；各极间距离包括与所述第一偏置电压对应的第一极间距离、与所述第二偏置电压对应的第二极间距离和与所述第三偏置电压对应的第三极间距离；

厚度获取模块，用于根据各偏置电压和各极间距离，得到所述可动电极的厚度；其中，根据各偏置电压和各极间距离，得到所述可动电极的厚度的步骤中，基于以下公式得到所述可动电极的厚度：

其中，V₁为所述第一偏置电压；V₂为所述第二偏置电压；V₃为所述第三偏置电压；D₁为所述第一极间距离；D₂为所述第二极间距离；D₃为所述第三极间距离；t为所述可动电极的厚度。

7.一种平行可动电极厚度测量系统，其特征在于，所述系统包括计算机设备；所述计算机设备用于实现权利要求1至5中任意一项所述方法的步骤。

8.根据权利要求7所述的平行可动电极厚度测量系统，还包括激光共聚显微镜以及电源设备；所述激光共聚显微镜、所述电源设备连接所述计算机设备；

所述计算机设备用于向所述电源设备发送控制指令，以使所述电源设备根据所述控制指令向所述静电换能器施加各偏置电压；

所述激光共聚显微镜用于采集各极间距离，并将各极间距离传输给所述计算机设备。