[发明专利]静电换能器可动电极的厚度测量方法、装置以及系统有效
| 申请号： | 201811250439.4 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109297397B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 黄钦文;恩云飞;王蕴辉;董显山;朱军华 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周清华 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种静电换能器可动电极的厚度测量方法、装置以及系统。所述方法包括：获取静电换能器在各形变时刻的电极间距以及对应的电极间电流；形变时刻为静电换能器的可动电极在偏置电压下形变过程中的时刻；对根据各电极间距和各电极间电流得到的线性关系进行拟合，得到拟合关系，并获取拟合关系的误差函数；根据误差函数的最小值，获得静电换能器的可动电极的厚度，通过本申请方法将静电换能器在加载偏置电压后，可动电极在发生形变过程中的电极间距与电极间电流建立对应的线性关系，并分析线性关系的误差，在线性关系的误差最小时，即可获取可动电极的厚度，避免了传统技术直接采用仪器测量带来的误差，提高了获取可动电极的厚度的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 换能器可动 电极 厚度 测量方法 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
1.一种静电换能器可动电极的厚度测量方法，其特征在于，所述方法包括：获取静电换能器在各形变时刻的电极间距以及对应的电极间电流；所述形变时刻为所述静电换能器的可动电极在偏置电压下形变过程中的时刻；对根据各所述电极间距和各所述电极间电流得到的线性关系进行拟合，得到拟合关系，并获取所述拟合关系的误差函数；根据所述误差函数的最小值，获得所述静电换能器的可动电极的厚度。
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