[发明专利]一种仿生柔性应力/应变传感器的制备方法在审
| 申请号： | 201811249855.2 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109115282A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 李爱东;赖天成;刘畅;曹燕强;吴迪 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种仿生柔性应力/应变传感器的制备方法，涉及传感器领域，能够兼具高灵敏度、大拉伸范围、快速响应和稳定性的特点，具有优异的综合性能。本发明包括：采用以具有合适微结构的动物皮肤为模板制备的图案化PDMS薄膜作为基底材料，以原子层沉积技术制备的金属纳米颗粒修饰的CNTs作为传感材料，两者结合制备得到柔性应力/应变传感器。本发明工艺简单，成本低，绿色环保，制备出的基底材料很好地复制了动物皮肤中的微结构，传感材料具有良好的导电性和拉伸范围，使制备出的柔性应力/应变传感器具有优异的综合性能，包括高的灵敏度、大的拉伸范围、快的响应时间和好的循环稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 应变传感器 拉伸 传感材料 动物皮肤 基底材料 综合性能 微结构 原子层沉积技术 金属纳米颗粒 传感器领域 循环稳定性 导电性 高灵敏度 快速响应 绿色环保 模板制备 灵敏度 图案化 修饰 复制 响应 | ||
【主权项】：
1.一种仿生柔性应力/应变传感器的制备方法，其特征在于，包括：S1、将新鲜的具有合适微结构的动物皮肤裁剪洗净干燥后粘在载玻片上作为生物模板；S2、将PDMS(polydimethylsiloxane聚二甲基硅氧烷)平整地浇于动物皮肤表面，于室温固化后撕下，得到图案化的PDMS薄膜；S3、利用原子层沉积方法在CNTs(Carbon Nanotube碳纳米管)上生长离散分布可控的金属纳米颗粒，得到金属NPs@CNTs复合材料，金属纳米颗粒的直径为5‑20nm；S4、将金属NPs@CNTs复合材料以0.5‑4.5mg/mL的浓度分散于乙醇中，超声后得到金属NPs@CNTs的乙醇分散液；S5、将金属NPs@CNTs的乙醇分散液均匀地滴涂于图案化的PDMS薄膜表面，得到金属NPs@CNTs‑PDMS薄膜，将金属NPs@CNTs‑PDMS薄膜加热,使金属NPs@CNTs牢固地粘附在PDMS上；S6、利用导电银胶将铜箔粘在金属NPs@CNTs‑PDMS薄膜两端，固化导电银胶，并在金属NPs@CNTs‑PDMS薄膜表面包裹一层PDMS薄膜作为保护层，得到仿生柔性应力/应变传感器。
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