[发明专利]光学位置测量装置

摘要

本发明涉及光学位置测量装置。本发明涉及一种用于检测两个相对彼此可移动的对象的位置的光学位置测量装置。所述光学位置测量装置包括量具，所述量具与这两个对象之一连接并且包括测量刻度，所述测量刻度具有刻度区域沿着至少一个刻度方向的周期性布置。此外，设置了布置在另一对象上的扫描单元，其中经由布置和构造扫描单元的光学元件得到扫描光路，在扫描光路中，被分裂的和形成干涉的子射束关于对称平面镜像对称地传播，并且或者V形入射到量具上和/或经历从量具的V形反向反射。对称平面相对于量具倾斜了所限定的倾斜角。如下子射束形成干涉：所述子射束在测量刻度处以对称的衍射级被偏转，并且在分裂与再汇合之间经过相同的光学路径长度。

主权项

1.一种用于检测两个相对彼此可移动的对象的位置的光学位置测量装置，其具有：‑ 量具，所述量具与所述两个对象中的一个对象连接，并且所述量具包括测量刻度，所述测量刻度具有刻度区域沿着至少一个刻度方向（x）的周期性布置，以及‑ 布置在另一对象上的扫描单元，所述扫描单元具有多个光学元件，其中经由布置和构造所述扫描单元的所述光学元件得到扫描光路，在所述扫描光路中，被分裂的和形成干涉的子射束关于对称平面镜像对称地传播，并且或者V形地入射到所述量具上，和/或者经历从所述量具的V形反向反射，其中所述对称平面相对于所述量具围绕转动轴线倾斜了所限定的倾斜角（α），所述转动轴线平行于所述量具的表面定向并且垂直于所述刻度方向延伸，而且其中如下子射束形成干涉：所述子射束在所述测量刻度处以对称的衍射级来偏转，其特征在于，所述子射束（A，B）在分裂与再汇合之间经过相同的光学路径长度。