[发明专利]光声气体传感器和方法在审

专利信息
申请号: 201811239785.2 申请日: 2018-10-23
公开(公告)号: CN109696405A 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: D·图姆波德;C·格拉策 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: G01N21/17 分类号: G01N21/17;G01N21/01
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 郑立柱;李春辉
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 本公开涉及光声气体传感器和方法。用于测量气体浓度的方法包括利用光脉冲加热第一气体,光脉冲具有由第一气体所吸收的波长,其中第一气体在柔性膜上施加压力。方法包括接收第一信号和接收第二信号,第一信号指示膜的第一偏斜,其中第一偏斜是由于第一气体的压力的改变所引起的,第二信号指示在第一信号之后发生的膜的第二偏斜,其中第二偏斜是由于第一气体的压力的改变所引起的。方法包括:确定第一信号和第二信号之间的差,以及基于第一信号和第二信号之间的差来确定第一气体的第一浓度。
搜索关键词: 第二信号 偏斜 光声气体传感器 光脉冲 施加压力 柔性膜 指示膜 波长 加热 测量 吸收
【主权项】:
1.一种方法,包括:从压力传感器接收第一输出信号,所述第一输出信号与气体的第一浓度相关联;从所述压力传感器接收第二输出信号,所述第二输出信号与所述气体的第二浓度相关联;根据在第一时间指示处的所述第一输出信号的第一值以及在第二时间指示处的所述第一输出信号的第二值,来确定所述第一输出信号的第一斜率;根据在所述第一时间指示处的所述第二输出信号的第一值以及在所述第二时间指示处的所述第二输出信号的第二值,来确定所述第二输出信号的第二斜率;以及基于所述第一斜率、所述第二斜率、所述第一浓度和所述第二浓度,来确定在输出信号的斜率和所述气体的浓度之间的相关性。
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