[发明专利]与光致抗蚀剂一起使用的底层涂料组合物有效
| 申请号： | 201811237848.0 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN109725493B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 赵廷奎;沈载桓 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C09D179/04;C09D5/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供底层涂料组合物，其包括1)树脂；和包括沸点为200℃或更高的一种或多种溶剂的溶剂组分。涂料组合物特别适用于与用EUV成像的外涂光致抗蚀剂组合物一起使用。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 一起 使用 底层 涂料 组合 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法，其包括：a)在衬底上涂覆一层包括以下的流体涂料组合物：i)树脂；和ii)包括沸点为200℃或更高的一种或多种溶剂的溶剂组分；和b)在所述涂料组合物层上面涂覆一层光致抗蚀剂组合物。
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