[发明专利]过滤器润湿系统及供液系统在审
| 申请号： | 201811221462.0 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN111068963A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/40 | 分类号： | B05B15/40;B05B15/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种过滤器润湿系统及供液系统。过滤器润湿系统包括过滤装置、排放管路及润湿管路，过滤装置包括至少一个过滤器；排放管路与过滤装置的排污口相连接，用于排放经过滤装置过滤后产生的残液；润湿管路一端与排放管路相连接，用于对备用过滤器进行预润湿。供液系统包括供液管路、过滤装置、喷涂装置、排放管路及润湿管路，所述供液管路一端连接至液体供给源。采用本发明的过滤器润湿系统及供液系统可以在正常的供液过程中进行备用过滤器的预润湿而无需占用设备的工作时段，可以有效节约设备的停机时间，提高设备产出率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤器 润湿 系统 | ||
【主权项】：
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