[发明专利]柔性衬底、柔性显示面板及柔性显示面板的制作方法在审
| 申请号： | 201811206587.6 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109461845A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 夏青林 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种柔性衬底、柔性显示面板和柔性显示面板的制作方法，所述柔性显示面板的制作方法包括：提供柔性衬底；在所述柔性衬底的一侧表面形成相互连通的凹槽，所述凹槽的端口位于所述柔性衬底内部；将所述柔性衬底贴合在硬质基板上，具有凹槽的表面与所述硬质衬底相贴合；抽出凹槽中的空气，在柔性衬底与硬质基板之间形成真空腔和/或低压腔，通过凹槽和外部的气压差将所述柔性衬底固定在硬质基板上；在所述柔性衬底上形成各个膜层并封装，形成显示面板；向凹槽中注入空气，消除凹槽和外部的气压差，使显示面板与硬质基板分离。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 柔性显示面板 硬质基板 显示面板 气压差 贴合 制作 表面形成 低压腔 真空腔 外部 膜层 硬质 封装 连通 抽出 | ||
【主权项】：
1.一种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：提供柔性衬底；在所述柔性衬底的一侧表面形成相互连通的凹槽，所述凹槽的端口位于所述柔性衬底内部；将所述柔性衬底贴合在硬质基板上，具有凹槽的表面与所述硬质衬底相贴合；抽出凹槽中的空气，在柔性衬底与硬质基板之间形成真空腔和/或低压腔，通过凹槽和外部的气压差将所述柔性衬底固定在硬质基板上；在所述柔性衬底上形成各个膜层并封装，形成显示面板；向凹槽中注入空气，消除凹槽和外部的气压差，使显示面板与硬质基板分离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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